光学加工 ·显微光波导制程
- 行业：光学加工
采用FIS4四波横向剪切干涉传感器开展显微成像波前检测，在光路中引入100倍物镜对光波导片进行高倍率显微成像，同步获取其透射波前信息。光波导片是集成光学与光通信领域的关键器件，微纳尺度的波前畸变将显著影响光信号传输效率与耦合精度。FIS4传感器基于四波横向剪切干涉原理，借助100倍高数值孔径物镜实现微米级分辨率的波前检测，将经物镜聚焦后的光束波前分割为四束具有纳米级横向位移的相干光，利用多方向干涉条纹完成透射波前的全场高精度重构。该方案无需参考镜，抗振动性能优异，可快速识别端面形貌误差、折射率分布不均及应力双折射导致的波前畸变。借助Zernike多项式拟合分析，能够定量提取离焦、像散、彗差等各阶像差，全面评价光波导片的加工质量与光学一致性，为集成光学器件的制造检测、品质控制及性能优化提供可靠的技术支撑。
采用FIS4四波横向剪切干涉传感器开展显微成像波前检测，在光路中引入100倍物镜对光波导片进行高倍率显微成像，同步获取其透射波前信息。光波导片是集成光学与光通信领域的关键器件，微纳尺度的波前畸变将显著影响光信号传输效率与耦合精度。FIS4传感器基于四波横向剪切干涉原理，借助100倍高数值孔径物镜实现微米级分辨率的波前检测，将经物镜聚焦后的光束波前分割为四束具有纳米级横向位移的相干光，利用多方向干涉条纹完成透射波前的全场高精度重构。该方案无需参考镜，抗振动性能优异，可快速识别端面形貌误差、折射率分布不均及应力双折射导致的波前畸变。借助Zernike多项式拟合分析，能够定量提取离焦、像散、彗差等各阶像差，全面评价光波导片的加工质量与光学一致性，为集成光学器件的制造检测、品质控制及性能优化提供可靠的技术支撑。