FIS4 波前传感器是非接触式微纳轮廓形貌测量系统的核心探测单元，依托波前传感原理，捕捉微纳结构表面反射光的波前畸变，通过波前重建算法反演出样品三维轮廓。无需探针触碰样品，可对半导体刻蚀结构、MEMS 器件、微光学阵列等微小结构做高精度形貌、台阶高度、侧壁轮廓、表面粗糙度定量检测，是微纳制造工艺监控与成品验证的关键器件。