超精密光学元件（平面、球面、非球面、自由曲面光学镜片）的加工，从研磨、抛光到最终镀膜，面形精度是核心指标。微小的面形误差、局部起伏、边缘塌边都会直接造成光学系统波前畸变，降低成像 / 激光传输质量。传统离线检测方式只能在加工暂停后抽样测量，无法实时反馈加工状态。FIS4 波前传感器可对光学元件加工过程做在线 / 近在线面形监控，实时获取全口径面形与波前误差，为抛光工艺闭环控制提供量化数据，是高端光学元件超精密制造的关键测量设备。