高精密光学元件量产质检:工业环境下的精密器件批量检测
光学元件量产阶段,元件面形、波前误差、表面缺陷的一致性直接决定下游光学整机的性能与良率。实验室级干涉仪往往对环境振动、温湿度敏感,测量速度慢,难以适配工厂产线批量检测节奏。FIS4 波前传感器具备环境鲁棒性强、测量速度快、非接触面域检测的特点,可部署于工业车间环境,完成光学元件出厂前批量波前与面形质检,实

光学元件量产阶段,元件面形、波前误差、表面缺陷的一致性直接决定下游光学整机的性能与良率。实验室级干涉仪往往对环境振动、温湿度敏感,测量速度慢,难以适配工厂产线批量检测节奏。FIS4 波前传感器具备环境鲁棒性强、测量速度快、非接触面域检测的特点,可部署于工业车间环境,完成光学元件出厂前批量波前与面形质检,实现高效稳定的全件或抽样检测,保障精密光学器件批量交付品质。