高精度物镜波像差测量系统
高精度物镜波像差测量系统

高精度物镜波像差测量系统

定制服务 支持全波段定制开发

10纳米绝对检测精度，让刻蚀更精准，让成像更清晰

190nm~14μm 工作波长
优于1/50λ RMS 通光孔径
优于1/1000λ RMS 测量重复性 阶数m
定制服务
支持全波段定制开发 产品型号
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高精度物镜波像差测量系统——应用案例

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