FIS4-FIR-C远红外四波干涉传感器

10.6μm中心波段EUV助力

FIS4-FIR-C所有功能与FIS4-NIR相同，同时由于采用了液冷制冷的方式，有效地抑制了由于升温引起的数据波动，使得检测中测量结果更加稳定。适用于对波前稳定性有更高要求的适用场合。#此款传感器可以搭配液冷散热器使用